金融界2025年1月31日音讯,国家知识产权局信息数据显现,深圳市昇维旭技能有限公司请求一项名为“一种晶圆处理设备及晶圆处理办法”的专利,公开号 CN 119381322 A,请求日期为2024年5月。
专利摘要显现,本请求触及一种晶圆处理设备及晶圆处理办法,该晶圆处理设备城外粗对准单元和细对准单元中的至少个粗对准单元城外具有晶圆对准引导面的空心圆环,细对准单元城外检测晶圆边际方位的晶圆方位检测器和带动晶圆移动的水平位移器;本请求经过在晶圆坚持器的上方设置具有晶圆对准引导面的空心圆环,使偏移较大的晶圆能够被晶圆对准引导面引导至下落到晶圆坚持器上,完成对晶圆的粗对准;经过晶圆方位检测器和在一个方向上移动的水平位移器完成对晶圆的细对准,不仅仅能够避免旋转中的晶圆甩飞破片、进步工艺的稳定性,还能使细对准单元的结构相对比较简单、成本低以及校对快捷。
天眼查资料显现,深圳市昇维旭技能有限公司,成立于2022年,坐落深圳市,是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱500000万人民币,实缴本钱500000万人民币。经过天眼查大数据分析,深圳市昇维旭技能有限公司共对外出资了1家企业,参加招投标项目11次,知识产权方面有商标信息47条,专利信息43条,此外企业还具有行政许可13个。
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